|
Productdetails:
|
Toepassing: | Algemeen | Materiaal: | roestvrij staal |
---|---|---|---|
Druk: | Hoge druk | Temperatuur van Media: | Middelgrote Temperatuur, Normale Temperatuur, Lage Temperatuur |
Media: | Gas, Lucht | Havengrootte: | norm |
Standaard of niet genormaliseerd: | norm | Garantie: | 1 jaar |
Hoog licht: | De Filter van het het Roestvrije staalgas van Ce PTFE,15L/ Min Stainless Steel Gas Filter,15Mpa de Filter van het hoge drukgas |
Gasfilter
De gasfilter in het systeem van het hoge zuiverheidsgas is wordt gebruikt een apparaat om de deeltjes in het gas volgens het botsing, verspreidings en onderscheppingsmechanisme uit te filtreren dat. Met de ontwikkeling van geïntegreerde schakeling op megabitniveau, worden meer strenge eisen naar voren gebracht voor ultra schoon. Volgens semi norm, 2011lm-zijn de deeltjes in 10011 die rangstikstof en argon door pijpleiding wordt geleverd minder dan 014 L; Het aantal deeltjes > 011lm in 16mdram-gas is minder dan 1 L. In ultrahoog zuiverheidsgas of het elektronische systeem van de gaslevering, om de dalende die deeltjes te verwijderen door trilling of luchtstroomeffect worden veroorzaakt, zouden de filters stroomafwaarts van kleppen en montage moeten worden geïnstalleerd en alvorens gas te gebruiken. De selectie en de specificatie van deeltjesfilter hangen van de specificatie van de gascontrole af. Shell van de filter wordt gemaakt van roestvrij staal 316. Het filterelement heeft poreuze het element van de metaalfilter, corrosiebestendige en hittebestendige van de nikkelbasis legering, 100%-nikkellegering gesinterd, ceramisch aluminium, Teflo |
Producteigenschappen
Brede waaier van toepassingen, stroomwaaier van 15 aan 300SL/min Het is compatibel met de meeste het procesgassen van de hoge zuiverheidshalfgeleider. de capaciteit van de 3 nanoparticlefiltratie om hoge stroomefficiency, ultra-kleine drukdaling te handhaven. 5Ra electropolished oppervlakte kan interne verontreiniging verhinderen. Na het schoonmaken met gedeioniseerd water, wordt het gebakken met hete stikstof om aan de norm van het halfgeleiderproces te voldoen. Één miljoen stofvrije aseptische workshop verwerkende, schoonmakend en verpakkend milieu. De lekkage van het test100% helium. |
De parameters van productprestaties
Filtratienauwkeurigheid | ≥0.0025μm | |
filtratieefficiency | Verwijdering rate99.99999%≥0.0025μm | |
geschatte stroom | 15L/Min | |
60L/Min | ||
120/Min | ||
200Min | ||
300Min | ||
filtersamenstelling | Filterelement | 316/PTFE |
shell | roestvrije steel316L | |
arbeidsvoorwaarden | inham maximumdruk | 21Mpa (310kgf/cm2) |
maximum differentiële druk | Mpa 15(153kgf/cm2) | |
maximum het werk temperatuur | 430℃ (Inert gas) | |
het tarief van de heliumlekkage | 1x10-9atm cc/sec | |
de oppervlakte eindigt | ≤Ra 5μm |
Ons bedrijf
Onze Cusomer
Verpakking & Levering
Contactpersoon: Info
Tel.: +8613430639757